论文部分内容阅读
扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ自八十年代中期以来获得了的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理，本文提出了一种新型的样品－针尖间距测控的非光学方法，邓，利用压电陶瓷的压坟电效应，将压电陶瓷分为三部分，分别用地激励探针法动，固定地以及擦在振动变化。该方法的灵敏度很高，可将样吕－针尖的间距控制在３ｎｍ左右，而且廉价，制