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对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用
【摘 要】
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对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
【机 构】
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科电工程有限公司——MACROTRON科学工程公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2003年5期
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