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国际半导体技术的迅猛发展,对超纯气体的要求越来越高,超纯气体输送系统是超纯气体的污染源.本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染.
如何提高超纯气体输送系统的可靠性
【摘 要】
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国际半导体技术的迅猛发展,对超纯气体的要求越来越高,超纯气体输送系统是超纯气体的污染源.本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染.
【机 构】
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中国华晶电子集团公司动力工厂
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2003年2期
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