AlInAs氧化物限制1.3μm低阈值边发射激光器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weichungchen
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研究制作了一种利用AlInAs氧化物作为限制的1.3btm边发射AlGaInAs多量子阱激光器.有源层上方和下方的AlInAs波导层被氧化作为电流限制层.这种结构提供了良好的侧向电流限制和光场限制.当电流通道为5btm宽时,获得了12.9mA的阈值电流和0.47W/A的斜率效率.与具有相同宽度的脊条的脊波导结构的激光器相比,这种AlInAs氧化物限制的激光器的阈值电流降低了31.7%,斜率效率稍微有所提高.低阈值和高效率的特性表明,氧化A1InAs波导层能够提供良好的侧向电流限制.这种AllnAs氧化物限
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