【摘 要】
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本文给出了规模封装情况下,用于线键合与凸点倒装芯片晶圆的切割蓝膜选择的评估结果。重点研究材料成本低、储存寿命长、切割和芯片检出损伤少的蓝膜。确定了蓝膜选择所考虑
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本文给出了规模封装情况下,用于线键合与凸点倒装芯片晶圆的切割蓝膜选择的评估结果。重点研究材料成本低、储存寿命长、切割和芯片检出损伤少的蓝膜。确定了蓝膜选择所考虑的因素、方法和评估方案,包括切割及随后封装工序的检验准则。
This paper presents the results of the evaluation of the choice of blue film for wire bond and bump flip-chip wafers in case of scale package. Focus on the low cost of materials, long storage life, cutting and chip detection less blue film. The factors, methods and evaluation options considered for the choice of blue film, including the inspection guidelines for cutting and subsequent packaging processes, were identified.
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