【摘 要】
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研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,
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研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。
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随着我国经济以及社会的快速发展,我国的计算机网络技术不断进步,其在人们的生活以及工作中越来越扮演着不可或缺的重要角色。因此,人们对于计算机网络方面的人才变得十分渴求。为了更好地满足社会要求,对于实现计算机网络课程实验教学的有效路径进行分析充满了必要性。本文对于计算机网络课程实验教学现状进行了阐述,并从学情分析、设定教学目标、设计教学内容以及设置教学评价四个方面进行了浅析,希望对提高计算机网络课程实
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【摘 要】大功率广播发射台功率一般很大，多数都在100KW以上，广播发射机实际上作为一个能量转换装置存在。大功率发生台通常是由一个或者是几个广播发射机组合而成的，本文主要针对大功率广播发生台在运行的过程中会产生较强的磁场，磁场会对电力系统进行电磁干扰，解决电磁干扰，确保广播发生台电力系统自动化免受干扰是本文讨论的核心。 【关键词】广播发射台 电力系统自动化 抗干扰 广播发射台的用电负荷主要是指
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