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针对在一幅图像中定位多个模板的所有实例的情形 ,提出了一种基于多模板聚类和综合的快速目标定位方法。该方法首先使用带反馈的分级聚类算法对多模板进行聚类 ,并对每类模板用建立的数学模型综合出一个母板 ;然后 ,应用每类的母板在平移空间内搜索和匹配 ,且只在与母板相匹配的那些位置上才引导类内各子模板在该位置的匹配运算 ,最后用该算法对边缘图像进行了聚类、综合和匹配实验。实验结果表明 ,该算法在集成电路显微图像的多模板定位中是非常有效的