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针对K9玻璃基板的HF酸化学腐蚀工艺开展研究，标定了40％和2％高低两种体积分数的HF酸的腐蚀速率；分析了基板表面形貌随腐蚀深度的变化规律；研究了腐蚀时间、HF酸体积分数、超声波工艺对激光损伤阈值的影响，提出了能够有效减少损伤敏感的氟硅盐沉淀、提高损伤阈值的优化腐蚀清洗工艺流程。采用优化的腐蚀清洗工艺流程进行了实验验证，结果表明用体积分数为2％的HF酸在高温和超声波条件下腐蚀90s后，测得1064nm波长激光作用下K9基板抗激光损伤阈值提高了75％。