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建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.
多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统
【摘 要】
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建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
：
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404010)
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