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着重说明了场板设计中需要考虑的因素，给出了模拟结果与分析，并且给出设计结论。
场板的设计和分析
【摘 要】
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着重说明了场板设计中需要考虑的因素，给出了模拟结果与分析，并且给出设计结论。
【机 构】
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南京东南大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年4期
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