光辐照、热处理对Li2O-Al2O3-SiO2光敏微晶玻璃光化学加工性能的影响

来源 :青岛科技大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mimi107
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采用溶胶凝胶法结合高温熔制法,研制了适合微流控芯片用的光敏微晶玻璃。利用XRD、DTA和SEM测试技术,研究了热处理、光辐照对Li2O-Al2O3-SiO2系统微晶玻璃光化学加工性能的影响,确定出较为合理的工艺条件:光照时间30min,热处理时温度升到485℃保温200min,600℃保温60min,升温谜率约5℃·min^-1。在此基础上,制备出微流控芯片分析用的十字沟道和储液池。
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