光敏微晶玻璃相关论文
随着集成电路的小型化趋势,系统集成技术也得到了发展,特别是3D/2.5D集成电路技术的出现,大大提高了封装密度。垂直通孔是3D/2.5D......
以光敏微晶玻璃和PDMS为材料，通过光化学加工和等离子体改性，制备了光敏微晶玻璃-PDMS微流控芯片，并对该芯片的电渗性能进行了初步的......
光敏微晶玻璃是一种新型TGVs(Through Glass Vias,玻璃通孔)转接板基板材料,介电性能的改善有助于光敏微晶玻璃在集成电路应用中的......
以Li2O-Al2O3-SiO2-K2O-Na2O为玻璃系统，研究了热处理对制备主晶相为偏硅酸锂（Li2O·SiO2）的微晶玻璃空穴基片载体材料的影响和试......
自Li2O-Al2O3-SiO2系光敏微晶玻璃诞生以来,人们便期望将其优秀的异向刻蚀能力应用于微型结构件的制造中。目前,对锂铝硅系光敏微......
以Li2O-Al2O3-SiO2为玻璃系统，采用化学刻蚀法对曝光和热处理后的光敏微晶玻璃进行处理，研究了刻蚀工艺参数对基片加工性能的影响，利......
采用溶胶凝胶法结合高温熔制法，研制了适合微流控芯片用的光敏微晶玻璃。利用XRD、DTA和SEM测试技术，研究了热处理、光辐照对Li2O-Al......
以具有良好的光化学加工性能的光敏微晶玻璃作为芯片材料对于简化微流控芯片制备工艺、降低芯片制备成本具有重要意义。基于这一点......
通过研究不同B2O3含量的光敏微晶玻璃,获得了介电常数最小值为5.1和介电损耗达到最小值为5.7×10-3(1GHz)的光敏玻璃样品,分别......
光敏微晶玻璃在电子、生物医药等领域应用前景非常广泛.本论文利用XRD和SEM技术,研究了热处理和光辐照条件对Li2O-Al2O3-SiO2系统......
光敏微晶玻璃是一种新型可光刻的功能性玻璃,可借助紫外光刻和湿法刻蚀工艺在其表面或内部制备出特定的微型结构。光敏微晶玻璃的......
研究和探讨了Ｌ２Ｏ－Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２系统光敏微晶玻璃基础玻璃的成份、感光剂、晶核剂对其析晶晶相及其在氢氟酸中侵蚀的作用和影响。并通过ｘ衍射等手段分......
本论文以锂铝硅玻璃为基础,在确定各组分比的前提下,研究了成核剂银的含量对制备空穴孔阵基板的影响,采用屏蔽光辐照工艺,制备高密......
一、引言 Li2O-Al2O3-SiO2系统光敏微晶玻璃作为介质材料已被应用。这种材料的特点是强度高、介电性能好,而且还可以化学加工成为......
