【摘 要】
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据《日经微器件》2006年第11期报道,美国Analog Devices公司使用MEMS技术开发了车载的新型传感器芯片。该器件的特点是将加速度传感器和角速度传感器MEMS制作在同一芯片上,实
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据《日经微器件》2006年第11期报道,美国Analog Devices公司使用MEMS技术开发了车载的新型传感器芯片。该器件的特点是将加速度传感器和角速度传感器MEMS制作在同一芯片上,实现单芯片化,其次是使用SOI图片来设计新结构的加速度/角速度传感器。2008~2009年计划将3轴加速度传感器
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