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本文建立了扫描探针显微镜反馈控制器的简化模型和可确定表面轮廓函数与间隙控制电压相互关系的微分方程。本文还介绍了求解带有延迟项的微分方程的数值方法。利用此方法可求解出反馈控制器对各种轮廓函数的响应，总结出各种最佳参数的确定原则。
扫描探针显微镜反馈控制器响应函数的数值解法
【摘 要】
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本文建立了扫描探针显微镜反馈控制器的简化模型和可确定表面轮廓函数与间隙控制电压相互关系的微分方程。本文还介绍了求解带有延迟项的微分方程的数值方法。利用此方法可求
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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