【摘 要】
：
为顺应国内集成电路行业的良好发展势头,针对集成电路在制造及使用过程中时常发生的芯片失效问题,探讨作为重要分析手段的湿法去层技术。以实际芯片为例,从芯片内部结构入手,剖析不同芯片的结构特点,设计与之相匹配的湿法去层实现方案并进行实验。结合详细实验过程,对湿法去层工艺的主要步骤,包括去钝化层、去金属化层以及去层间介质层等,从材料配制与化学机理上解释其工作原理,展现实验结果并指出工艺要点,可供相关从业者参考。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十七研究所
论文部分内容阅读
为顺应国内集成电路行业的良好发展势头,针对集成电路在制造及使用过程中时常发生的芯片失效问题,探讨作为重要分析手段的湿法去层技术。以实际芯片为例,从芯片内部结构入手,剖析不同芯片的结构特点,设计与之相匹配的湿法去层实现方案并进行实验。结合详细实验过程,对湿法去层工艺的主要步骤,包括去钝化层、去金属化层以及去层间介质层等,从材料配制与化学机理上解释其工作原理,展现实验结果并指出工艺要点,可供相关从业者参考。
其他文献
随着信息技术的不断发展,智慧校园建设已成为许多高校发展战略规划的重点内容,鉴于高校招生人数不断增加、传统宿舍分配方式面临着越来越大挑战的现状,设计并实现了一款基于数据挖掘技术的宿舍智能分配系统。系统将采集到的新生基本信息、性格、爱好等内容存储在SQL Server存储数据库中,使用C++进行编程,利用k-means算法将属性相近的学生安排至同一宿舍,充分尊重了学生的个体差异与个性化需求,有效提高了宿舍分配满意度。经实验,系统运行情况良好,聚类效果明显,符合课题要求。
针对电解电容芯包卷绕过程中锥度张力控制问题,在详细分析卷绕过程中导致张力实时变化的因素的基础上,对磁粉离合器进行数学建模并研究相应的控制算法,设计实现了一种基于磁粉离合器的锥度卷绕控制系统。为满足系统对数学模型的较高要求及解决磁粉离合器在控制中存在纯滞后的问题,利用Simulink仿真工具建立模糊PID与Smith预估补偿控制。仿真结果表明在基于磁粉离合器的卷绕锥度张力控制系统中,使用模糊PID与Smith预估补偿控制可实现理想的控制效果。
单目标跟踪作为计算机视觉领域中最基本的问题之一,可在第一帧视频给定标记目标后,在随后的帧中定位目标,而这其中有目标运动、视角变化、光照变化等干扰因素,针对此类由于目标发生剧烈外观变化而跟踪失败的问题,提出一种多分辨率在线选择分支的单目标跟踪方法。该方法基于孪生网络框架,结合Resnet-50深层网络,加入在线分支选择机制,构建出基于深层网络的具有在线分支选择的孪生跟踪框架。实验结果表明,在同等跟踪
Two-dimensional(2D)carbon materials with ultrathin thickness,large lateral size,large surface area,accessible active sites and unique physical-chemical properti
以立式橡胶注射机成型固态硅橡胶空心绝缘子伞套为例,从工艺参数的设定原理出发,详细介绍了橡胶注射成型机工艺参数的设定和调整.
无线电能传送技术因其特有的便利性,具有广阔的应用前景,现今尚处于起步发展阶段,为顺应趋势、进一步探索这项技术的潜力,以磁耦合谐振式无线电能传输为例展开研究。通过介绍磁耦合谐振技术的特点及其电路模块工作原理,设计一套硬件系统,对系统的逆变电路、发射-接收线圈、整流电路、滤波电路、稳压电路等多个部分的硬件设计展开详细讨论,并使用PSpice软件进行仿真,依据仿真结果对系统作进一步调整优化,在现有条件下实现尽可能大的能量传输效率。
针对多自主移动机器人编队过程中机器人运动控制具有高复杂性动态运算以及需要存储大量数据的难题,提出一套基于云服务器存储大量数据和云计算动态编队的解决方法。通过对云主机系统的配置及连接,对基于云的多自主移动机器人编队控制过程展开实验。实验结果表明,将机器人的位置数据存放在云服务器上,动态编队在云端计算,较本地存储计算而言更准确安全,速度更快,误差较小,也验证了多自主移动机器人编队运行于云服务器具有完全的可行性。
基于Abaqus-Tosca-Isight软件联合优化设计思路优化设计了橡胶水套,消除了应力集中问题;采用ABAQUS软件仿真分析了橡胶水套,其破损原因为局部应力集中;采用Tosca软件优化了橡
综述了近几年NBR/PVC共混发泡材料的应用进展与行业现状,详细介绍了其发泡材料在硫化、发泡、增塑以及阻燃等方面遇到的技术问题及相关研究,最后展望了 NBR/PVC橡塑发泡材料
研究了氯化聚乙烯橡胶混炼胶在30℃×35 d和40℃×35 d条件下的门尼粘度、焦烧时间、硫化特性及力学性能的变化.结果表明,随着储存温度的升高和储存时间的延长,混炼胶门尼粘