【摘 要】
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本文描述了介质谐振器法测量高温超薄膜表面电阻Rs的原理和实验方法.对单端开路介质谐振器法测量Rs提出了技术上的改进
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本文描述了介质谐振器法测量高温超薄膜表面电阻Rs的原理和实验方法.对单端开路介质谐振器法测量Rs提出了技术上的改进
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