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采用分水岭算法得到三雏粗糙度motif．提出最小面积选择原则对粗糙度motif进行初始合并，去除被认为是噪音的非显著motif．通过溢出点面积阀值对粗糙度motif进行进一步的合并及多等级的分析，同时采用高度判断标准以防止对含有公共显著峰的2个motif进行合并．最后对扫描隧道显微镜所扫得的C（100）面进行分析，得到了该表面的motif参数，分析该表面的纹理，展示了该方法的独到之处，并对三维motif方法波动特性进行了分析．