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紫外探测器在军事高科技和民品市场的紫外通信和成像方面具有很高的价值.探讨了AlGaN pin 紫外探测器的制作工艺和材料及结构对器件性能的影响.提出改进pin紫外探测器性能的措施.
AlGaN PIN结构紫外探测器研制和建模分析
【摘 要】
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紫外探测器在军事高科技和民品市场的紫外通信和成像方面具有很高的价值.探讨了AlGaN pin 紫外探测器的制作工艺和材料及结构对器件性能的影响.提出改进pin紫外探测器性能的
【机 构】
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北京大学微电子学系MEMS
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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