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目前,市场上SiC基器件有光电子器件、功率器件和微波器件等三类产品,如PIN二极管、肖特基二极管、MESFET、MOSFET、晶闸管、SiC基发光二极管等.SiC器件的快速发展迫切需要价格低、直径大、品质高的SiC衬底,以降低器件的价格,提高器件的性能.
4″半绝缘SiC单晶生长设备及生长工艺技术研究
【摘 要】
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目前,市场上SiC基器件有光电子器件、功率器件和微波器件等三类产品,如PIN二极管、肖特基二极管、MESFET、MOSFET、晶闸管、SiC基发光二极管等.SiC器件的快速发展迫切需要价
【机 构】
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中国电子科技集团公司
【出 处】
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科技成果管理与研究
【发表日期】
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2018年11期
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