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由上海国家级集成电路研发中心投入11．5亿元建设的“12英寸／65至45纳米级”产品中试线土建工程即将完工，预示着中国首个纳米级IC工艺研发公共平台将在上海形成。
上海国家级集成电路研发中心建12英寸中试线
【摘 要】
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由上海国家级集成电路研发中心投入11．5亿元建设的“12英寸／65至45纳米级”产品中试线土建工程即将完工，预示着中国首个纳米级IC工艺研发公共平台将在上海形成。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年5期
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