【摘 要】
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为了实现对超大口径平面反射镜面形的精确测量,提出了平行光管子孔径拼接干涉计测方法。分析了利用平行光管拼接检测超大口径光学反射镜的基本原理与具体的实现流程和步骤。基于三角剖分算法和最小二乘拟合理论等建立了综合优化子孔径拼接数学模型。结合实例,对口径为2 m的超大口径平面反射镜进行了子孔径测试分析规划,利用1 m口径的平行光管,仅需9个子孔径就可以实现全口径覆盖和拼接检验。该技术极大地减少了拼接子孔径的数目,有效遏制了拼接误差累积,从而提供了一种精确、高效测量超大口径光学平面面形的方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
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为了实现对超大口径平面反射镜面形的精确测量,提出了平行光管子孔径拼接干涉计测方法。分析了利用平行光管拼接检测超大口径光学反射镜的基本原理与具体的实现流程和步骤。基于三角剖分算法和最小二乘拟合理论等建立了综合优化子孔径拼接数学模型。结合实例,对口径为2 m的超大口径平面反射镜进行了子孔径测试分析规划,利用1 m口径的平行光管,仅需9个子孔径就可以实现全口径覆盖和拼接检验。该技术极大地减少了拼接子孔径的数目,有效遏制了拼接误差累积,从而提供了一种精确、高效测量超大口径光学平面面形的方法。
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