【摘 要】
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介绍了ＦＴ－ＩＲ测量技术在半导体材料中的应用。对Ｓｉ、ＧａＡｓ等材料的试样制备、杂质缺陷的测量及光谱研究进行了全面报道。大量实验结果表明，该技术是研究半导体材料结构、成分、杂质和缺陷特
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介绍了ＦＴ－ＩＲ测量技术在半导体材料中的应用。对Ｓｉ、ＧａＡｓ等材料的试样制备、杂质缺陷的测量及光谱研究进行了全面报道。大量实验结果表明，该技术是研究半导体材料结构、成分、杂质和缺陷特性的有效方法。
The application of FT-IR measurement technology in semiconductor materials is introduced. The preparation of Si, GaAs materials such as sample preparation, measurement of impurity defects and spectral studies were comprehensively reported. A large number of experimental results show that the technology is an effective method to study the structure, composition, impurities and defects of semiconductor materials.
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