论文部分内容阅读
根据硅各向异性腐蚀在微观尺度下的特点，基于元胞自动机理论提出了新的腐蚀模拟模型．该模型考虑了腐蚀过程中硅不同晶面的晶体结构特点，并通过引入碰撞理论，综合反映了腐蚀温度和浓度对腐蚀的影响作用．该模型可快速准确地模拟分析各向异性腐蚀工艺过程，对优化工艺有着理论指导作用．
基于元胞自动机理论的硅各向异性腐蚀模型
【摘 要】
：
根据硅各向异性腐蚀在微观尺度下的特点，基于元胞自动机理论提出了新的腐蚀模拟模型．该模型考虑了腐蚀过程中硅不同晶面的晶体结构特点，并通过引入碰撞理论，综合反映了腐蚀温度和
【机 构】
：
南京大学物理系,中国科学院微电子研究所纳米技工与新器件集成技术实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2005年8期
其他文献
离子注入技术是一种重要的制备低维量子结构的方法,它能通过精确控制注入能量、剂量以及注入温度等形成有序纳米团簇.我们利用有序的阳极氧化铝模板作为掩模板在GaAs(001)衬
制作了一种新型的半导体可饱和吸收镜：表面态型半导体可饱和吸收镜．用表面态型半导体可饱和吸收镜作为被动锁模吸收体，实现了半导体端面泵浦Yb：YAG激光器被动连续锁模．在泵浦功率
对使用超声搅拌和和不加搅拌时（100）单昌大雨的腐蚀特性进行了研究和对比。使用超声搅拌，可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面，整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm。实验结果表明，该
选取不同ＭＦＲ的ＰＰ粒料及一组云母填充ＰＰ，根据ＡＳＴＭＤ１２３８标准方法测定熔体密度及ＭＦＲ。了解了在试验条件下溶体密度与ＭＦＲ的关系，得到了十分有益的结果。ＰＰ在标准试验条件存在一特定的平均熔体密度，它适用于所
现代物流作为一个新兴的复合型产业，对于人才的需求正在逐年提升。中职物流专业课程体系的构建，主要是以职业导向为前提去指导物流专业的具体实践，培养基层的物流人才。本次研究
目前关于高中语文教学方法有很多种，根据笔者的实践经验，较为推崇建构主义教学法，建构主义教学法，对营造和谐的语文课堂以及学习环境两个方面较为重视。在本文中，笔者主要从建构主
作为分辨率增强技术（RET）之一，离轴照明技术（OAI）通过调整照明方式，不但能提高分辨率还能很好地改善焦深，成像干涉光刻技术（IIL）利用多次曝光分别记录物体空间频率的不同部分，极大地提
采用标准双栅CMOS工艺在镍诱导非晶硅横向晶化形成的多晶硅上制造了高性能的薄膜晶体管，并详细研究了器件制备前高温预处理于薄膜晶体管性能的影响。实验发现不同的温度处理，将
本文采用过氧化二异丙苯引发，熔融接枝方法制备了乙丙共聚物接枝马来酸酐共聚物。采用红外光谱、广角Ｘ射线及ＤＳＣ方法对接枝物进行了定性表征，通过对共聚物中乙烯、丙烯含量对交联、