【摘 要】
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一、引言众所周知,在芯片表面加钝化层可以增加铝条的抗腐蚀能力,提高器件的可靠性,故考察在潮热环境中不同钝化层的铝的腐蚀行为是十分必要的。本文提供了国内已使用的几种
【机 构】
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华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系
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一、引言众所周知,在芯片表面加钝化层可以增加铝条的抗腐蚀能力,提高器件的可靠性,故考察在潮热环境中不同钝化层的铝的腐蚀行为是十分必要的。本文提供了国内已使用的几种钝化层的铝腐蚀试验方法和结果,并对试验结果进行了比较和分析讨论。
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