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处理器离线测试广泛采用随机测试技术，但是随机测试技术生成大量测试代码，并且测试覆盖率不高；主要针对随机测试的不足，借鉴基于软件内建自测试方法建立处理器模块级于系统级功能模型，后分析功能模型可能发生错误，针对错误模型开发测试代码来提高错误覆盖率；经测试，模块级测试覆盖到所有功能点，达到功能模块100％测试，系统级的测试覆盖到SPARCV8的所有指令异常、正常测试用例；测试结果表明，所采取的测试方案对提高错误覆盖率是行之有效的。