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栅氧击穿不仅和栅氧质量相关,而且受前工序的影响很大.本文介绍了影响栅氧击穿的因素,如PBL隔离和腐蚀、电容结构.
栅氧击穿机理研究
【摘 要】
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栅氧击穿不仅和栅氧质量相关,而且受前工序的影响很大.本文介绍了影响栅氧击穿的因素,如PBL隔离和腐蚀、电容结构.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2003年3期
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