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变焦显微测量技术是物体微观表面形貌的非接触式高精度测量方法中的一个重要研究方向,因其测量精度高、效率高、鲁棒性强、适合测量具有大倾角的表面的优点,文章对该测量技术中的几个关键技术进行挖掘和研究,包括聚焦评价、图像融合、模型重构、模型拼接和模型质量评价几个方面,意指找到最优的算法组合。文章综述了五个关键技术点在国内外的发展态势,剖析了基于三维模型的变焦显微测量技术的可行性,并从中寻找到有效的组合方法形成系统的基于三维模型的变焦显微测量技术。