【摘 要】
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简要地介绍了常见MEMS开关的工作原理,并根据不同的驱动方式和工作频率范围对MEMS开关进行分类.根据引信可靠性要求,强调了能够保证引信电源内部接电回路MEMS开关性能的3个关
【机 构】
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南京理工大学机械工程学院,南京,210094
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简要地介绍了常见MEMS开关的工作原理,并根据不同的驱动方式和工作频率范围对MEMS开关进行分类.根据引信可靠性要求,强调了能够保证引信电源内部接电回路MEMS开关性能的3个关键参数:开关闭合时间、接触可靠性以及接电性能.最后,列出了部分能够有效改善这些参数性能的解决方案.如通过沿着悬臂梁方向采用韧窝结构、提高有效刚度以及在驱动极板上穿孔等措施来减少开关的闭合时间；此外,采用合适的软着陆电压波形、软金属材料以及闭锁机构等措施来提高接触可靠性；同时选择合适的材料、特殊的设计结构以及控制适当的粗糙度等来实现良好的接电性能.
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