谐振式压力传感器相关论文
MEMS压力传感器因其结构特点和工作原理,具有测量精度高、易于大批量生产、长期稳定性好等优点,且制造过程与传统集成电路工艺兼容......
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究.根据谐振......
为了探究非线性刚度对谐振式压力传感器及其测控系统的影响,建立了基于非线性谐振器的直流AGC闭环自激模型,采用平均法进行模型的......
基于微机电系统(MEMS)的硅微压力传感器是最早的商业化产品之一,谐振技术的MEMS压力传感器是目前精度最高的压力测量仪器,鉴于其测......
为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理......
本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析......
谐振式微机械压力传感器具有尺寸小、精度高、稳定性好、易与数字电路接口等优点，在压力检测领域有着广阔的应用前景。精确测量是谐......
该文针对一种新型的谐振式硅微结构压力传感器进行优化设计.该传感器的敏感结构没有采用较为常见的方形膜片,而是采用矩形膜片作为......
微结构谐振式压力传感器是一种用频率变化来反映外界压力变化的传感器件,因其尺寸小、精度高、易于与数字设备接口而具有广阔的应......
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改......
针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号......
基于谐振式硅微压力传感器敏感结构设计原理,结合不确定度分析方法,分析了各结构尺寸对敏感结构固有频率以及检测灵敏度的影响.建......
据来自通用电气传感检测科技（上海）有限公司消息，GE检测控制技术业务旗下压力传感技术部门最新发布新型沟槽刻蚀谐振式（TERPS）压力传感......
GE检测控制技术旗下压力传感技术部门推出的沟槽刻蚀谐振式（TERPS）压力传感器技术平台RPS8000，在显著提高与传统谐振压力技术相关的压......
30多人参加了“地震观测仪器及观测资料处理技术”专题分会场的学术交流活动，12名学者作了学术报告：基于MEMS传感器的小型智能化强震......
在现代工农业生产活动中,压力计量技术有着很重要的作用和地位,其计量准确程度直接影响到生产生活科研等各个领域。随着工农业生产......
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气......
谐振式压力传感器是一种通过检测谐振器固有频率的变化来间接测量压力的MEMS器件,具备精度高、抗扰性好等特点,并且其输出频率信号......
早在20世纪六七十年代，我国就曾开展过比较多的土层应力观测工作，河北唐山八中业余地震观测组曾利用简易液压土层应力计，观测到唐山7．8......
本文介绍了静电驱动的原理和优势,综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后......
MEMS(微机电系统)硅谐振式压力传感器利用检测其谐振频率的改变间接测量外界环境压力,拥有体积小,精度高,抗干扰能力强等优点。另......
谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式......
【正】 1.前言将过程压力转变为一个电信号,可有几种模拟装置。一般,应考虑到特定仪器的工作特性、物理特性和成本等问题,用在特定......
为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的"H"型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式......
静电激励/电阻检测硅微谐振式压力传感器以其长期稳定性好、响应速度快、输出信号易处理等优点成为压力传感器研究和开发的重点,是......
提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏......
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅......
利用DSP高速、内存大的特点,对谐振式压力传感器输出信号进行等精度测量,以提高系统的整体测量精度。针对无线信号传输中FFT算法频......
介绍了一种基于自适应周期的快速频率采集的谐振式压力传感器的频率测试系统。该系统利用STM32输入捕获功能实现了快速高精度频率......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,它的特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接......
硅微谐振式压力传感器是最近刚发展起来的具有灵敏度高、性能稳定、体积小、功耗低等优点的新型传感器件,其输出的频率信号可直接......
为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传......
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的......
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜......
微结构谐振式压力传感器是一种用频率变化来反映外界压力变化的传感器件，因其尺寸小、精度高、易于与数字设备接口而具有广阔的应用......
谐振式传感器具有良好的重复性、分辨率和稳定性,全光纤谐振式微型传感器则集合了微纳结构与光纤传感特性两者的优点。石墨烯作为......
提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器,该器件采取面内动平衡的振动模式,为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器......
谐振式压力传感器闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。针对一种典型结构的静电驱动电容检测MEMS谐振......
为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电......
在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电......
MEMS(Micro-electro-mechanical system)谐振器以其体积小、精度高、稳定性好等特点被广泛应用于工业生产、航空航天等重要领域,并......
