【摘 要】
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为优化单晶硅的加工工艺参数,首先,构建了单晶硅微细铣削表面粗糙度的预测模型,分析了主要切削要素对表面粗糙度的影响及切削要素和切削方式对表面形貌的影响.此外,对模型进行了回归系数的计算和显著性检测,并进一步进行了验证实验.研究表明:切削参数对单晶硅表面粗糙度的影响程度依次为fz、n、ap.在实验参数范围内获得了最优工艺参数.铣削微槽两侧的加工方式中逆铣的表面质量优于顺铣的表面质量.对构建的预测模型进行显著性检测,得到F=21.89>F(3,12)=3.49,R2=0.85,且样本点的残差值都在5％置信区间内
【机 构】
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苏州科技大学机械工程学院,江苏 苏州 215009;苏州科技大学苏州市高效与精密加工技术重点实验室,江苏 苏州 215009
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为优化单晶硅的加工工艺参数,首先,构建了单晶硅微细铣削表面粗糙度的预测模型,分析了主要切削要素对表面粗糙度的影响及切削要素和切削方式对表面形貌的影响.此外,对模型进行了回归系数的计算和显著性检测,并进一步进行了验证实验.研究表明:切削参数对单晶硅表面粗糙度的影响程度依次为fz、n、ap.在实验参数范围内获得了最优工艺参数.铣削微槽两侧的加工方式中逆铣的表面质量优于顺铣的表面质量.对构建的预测模型进行显著性检测,得到F=21.89>F(3,12)=3.49,R2=0.85,且样本点的残差值都在5％置信区间内,说明该模型是高度显著的.验证实验的预测值误差在2％ ～8.5％之间,进一步表明此模型具有较高的可靠性.
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