论文部分内容阅读
<正>1.聚焦离子束简介聚焦离子束(focused ion beam,FIB)与聚焦电子束从本质上讲是一样的,都是带电粒子经过电磁场聚焦形成细束。但聚焦电子束不同于聚焦离子束。区别在于它们的质量,最轻的离子为氢离子也是电子质量的1 840倍。离子束不但可以像电子束那样用来曝光,而且重质量的离子也可以直接将固体表面的原子溅射剥离,因此聚焦离子束更广泛地作为一种直接微纳米加工工具。