离子束加工相关论文
随着以柔性能源、柔性显示、柔性传感为代表的柔性电子产业迅猛发展,其中核心部件之一柔性透明导电薄膜的高质量制造成为一个关键......
为了进行Ｓｉ聚焦离子束微细加工技术的研究，研制了ＡｕＳｉ液态金属离子源制备设备及其分析设备，制成了实用化的ＡｕＳｉ合金源，得到了制备该合金源的成熟......
金刚石膜是一种高新超硬材料，由于其应用面的扩大，对其加工技术也提出了新的迫切要求。本文介绍了目前正在研究和应用的几种主要加工......
为了实现光学元件的高精度加工,对离子束加工过程中关键的驻留时间求解算法进行了研究。通过分析离子束加工过程的基本原理,将传统......
一、前言电加工是直接利用电——物理和电——化学现象对材料进行加工的方法。前者有放电加工、放电成型、电磁成型、等离子加工......
近来,在改善金属材料的表面性能方面,利用能束和离子束加工的方法正引起广泛的兴趣,激光和电子束的表面熔化技术能够形成急速凝固......
电加工是直接利用电能对材料、另件进行尺寸加工的一种新工艺。从广义上说,它包括电解切削、电解磨削、电铸、电火花加工、电子束......
特种加工是指传统的切削加工以外的一些新的加工方法,这些加工方法是用电能、化学能、声能、热能等去除金属或非金属材料的。目前......
电加工学会特种加工学组于一九八四年十一月在深圳特区深圳大学召开了首次特种加工学术讨论会,一百余名代表出席了会议。会议期间......
1987年 11月上旬,由兰州物理研究所研制的 DSJ-4型多功能双离子束加工机和直线型局部真空电子束焊接装置,通过了部级技术鉴定,为......
在《超精密切削磨削和蚀除加工》一文(见本刊1985年第6期)中,已就超精密加工的定义、方法和特点进行过论述,现对它的加工系统与加......
据苏《自然》84年7号报道:虽然对离子束焊接的物理和技术特性不久前才开始加紧研究,但初步的成果已经表明,用这种方法能在焊接过......
图1表示了二十世纪以来,一般加工、精密加工和超精密加工的发展趋势。可见当今的超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为0.01μm数......
针对超精细加工的技术要求,叙述了离子加工应用技术的发展概况、各型号离子束刻蚀机的性能及使用效果,阐述了离子镀膜的基本原理与......
本文从航空机载设备的发展提出了对特种加工技术的需要,进而介绍了机载设备行业应用较多的激光加工、电子束加工、离子束加工、电......
一、前言在通常情况下,我们所见到的用于光学仪器的透镜和棱镜的表面,几乎都是球状(包括平面)的。但是,在光学系统中,仅仅使用球......
为了验证离子束修正超高陡度镜面的能力,对采用五轴离子束加工超高陡度镜面的问题进行了分析研究和加工实验。根据现有检测条件制......
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离子束加工技术是目前所有特种加工方法中最精密和最微细的工艺,是当代毫微米级加工技术的基础,近几年来国外在离子刻蚀、离子注......
本文的上半部分论述了:高精度制造技术的发展及提高产品制造精度的重要意义;机械加工精度提高的进展;精密测量的技术水平及其发展;......
介绍了半导体加工技术、ＬＩＧＡ工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用，必将......
电子束加工和离子束加工都属于特种加工的范畴,这里所讲的加工,不仅限于尺寸、形状的加工,而且还包括完成材料表面改性、曝光、焊......
提出对金属粉末进行选择性激光烧结制作微型部件。用微细镍基合金粉末Ｎｉ３５、铜粉进行了实验，把镍粉、铜粉选择性烧结在一个微型部件中，证......
近年来随着科技的进步和生产的发展 ,出现了许多坚硬而难以加工的 ,具有精密公差尺寸和低表面粗糙度的复杂零件的加工 ,导致了许多......
六十年代初,人们开拓了一门崭新技术——微细加工技术。微细加工是以加工的分辨率达到微未级为其特征的。微细加工包罗了电工学、......
本文主要介绍液镓场致发射离子源及其在聚焦离子束加工方面的应用,同时简要评述了离子束微细加工技术研究状况与亚微米离子束的功......
本文叙述了国外超精密加工和微细加工的现状和发展概况,介绍了金刚石刀具的几何角度、切削用量和机床精度以及离子束加工、超高频......
驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即......
由操作人员引起元器件的静电损坏,正在迅速地成为电子工业中一个非常令人头痛的问题,集成电路制造业中先进工艺的采用,(例如:离子......
目前,在半导体工业中,干刻蚀占所有刻蚀方法中的20%,其余为湿化学刻蚀方法。然而,湿化学方法已经达到了其极限,因此,在十年内,上......
FB—4080型聚焦离子束加工观察装置是适于64M DRAM以上高集成器件故障分析的聚焦离子束(FIB)装置。要形成平滑的器件截面,必须用......
由于离子束加工机床工作运动空间的限制,为了加工大型光学镜面,本文提出了一种全新光学镜面加工方法——拼接加工方法.论文首先从......
在传感器制作中,微细加工技术是一种越来越重要的技术,而且具有巨大的潜力。 硅片的出现,表明我们已经具有比以前更好的数据处理......
在宇航事业的兴起和发展中,精密机械加工起到了重要的作用。但随着技术不断发展,精密加工已不能完全满足要求,所以就产生了超精密......
该文围绕离子束对材料（主要是金属材料）表面改性处理，分别扼要介绍了属于此范围的几项主要技术。即离子注入、离子束混合、各种离子束......
该论文集着重论述了亚微米集成电路工艺器件和设备的研究，其主要内容有：电子束描图曲线光栅；电子束光刻图形的线宽测量；电子与原子He碰......
实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验。从工艺实现的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的......
193nm深紫外光刻机和下一代的13.5nm极紫外光刻机是我国半导体行业和超大规模集成电路战略的核心装备，光刻投影物镜是其中尤为关键......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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