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在线性化的前提下,对电致驱动微进给平台各个组成部分进行了简化,建立了工作台动力学模型,分析了微位移工作台的动态特性,得出了其传递函数;并通过实验,对所建立的动力学模型及开环控制下平台的实际动态特性进行了验证。理论分析和实验结果的一致性说明理论分析的正确性及可靠性。
电致驱动微进给平台动态特性分析
【摘 要】
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在线性化的前提下,对电致驱动微进给平台各个组成部分进行了简化,建立了工作台动力学模型,分析了微位移工作台的动态特性,得出了其传递函数;并通过实验,对所建立的动力学模型
【机 构】
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天津农学院机电系,天津大学机械工程学院
【出 处】
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机械设计与研究
【发表日期】
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2007年5期
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