【摘 要】
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<正>沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件,直接影响系统对VOCs的治理效果。本文以中芯国际集成电路制造(上海)有限公司为调查主体,对其有机废气成分进行分析,从
【机 构】
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上海达恩贝拉环境科技发展有限公司,中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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<正>沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件,直接影响系统对VOCs的治理效果。本文以中芯国际集成电路制造(上海)有限公司为调查主体,对其有机废气成分进行分析,从分子大小、极性、沸点和吸附质浓度等方面探讨了沸石分子筛的选型要求,研究沸石分子筛的吸附性能。为国内芯片制造业在沸石分子筛选型方面提供方案和建议。研究背景随着新的《大气污染防治法》(主席令第31号)、《大气污染防治行动计划》(国发[2013]37号)、《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策》(环保部公告2013年
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