【摘 要】
：
采用射频磁控溅射法制备HfSixOy薄膜,系统研究工艺参数对HfSixOy薄膜沉积速率的影响规律。对沉积态和退火HfO2和HfSixOy薄膜的结构进行了对比分析。结果表明：HfSixOy薄膜的沉
【机 构】
：
西北工业大学凝固技术国家重点实验室
【基金项目】
：
西北工业大学基础研究基金资助项目(NPU-FFR-W018108)
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射法制备HfSixOy薄膜,系统研究工艺参数对HfSixOy薄膜沉积速率的影响规律。对沉积态和退火HfO2和HfSixOy薄膜的结构进行了对比分析。结果表明：HfSixOy薄膜的沉积速率随射频功率、Ar气体流量和粘贴Si面积的增大而增大,随溅射气压的增大而减小。衬底未加热时,制备的HfSixOy和HfO2薄膜均呈非晶态,随着衬底加热温度的上升,HfO2薄膜呈多晶态,而HfSixOy薄膜呈非晶态。HfSixOy薄膜在800℃退火后仍呈非晶态,而HfO2薄膜在400℃退火后已明显晶化,这表明Hf
其他文献
<正> 一生注重研究《伤寒论》的著名医家柯韵伯晚年时,把毕生研究《伤寒论》先后撰写的三部著作《伤寒论注》、《伤寒论翼》、《伤寒附翼》合编为《伤寒来苏集》,笔者读是书,
本文从认知语义学比喻论的观点出发,运用籾山洋介(2002)的语义扩展模式,对日语「家(うち、いえ、か、け、や)」的多义扩展进行了分析,描述了「家」的各个义项之间的语义关系
20世纪中期,美国匹茨堡、德国鲁尔区和法国洛林等国外资源型城市就开始重视解决选择和培育新经济增长点这一重要问题,并取得了成功。国外资源型城市在选择和培育新经济增长点
20世纪50年代至70年代,我国当代文学产生了一批如今被称为"红色经典"的作品。关于它们的版本研究业已有诸多成果,但存在着不少误区,其中包括研究者自身知识结构的缺陷、对"红
介绍了茶多酚的组成、结构和性质 ,并对其在食品、医药、日用化工等领域中的应用进行了讨论。
抗美援朝战争的胜利,既是我党领导的人民军队的胜利,也是党思想政治工作的胜利。抗美援朝战争思想政治工作在认清形势、统一思想,健全组织、周密计划,主题鲜明、任务明确,结
2016年12月5日,习近平总书记主持召开中央全面深化改革领导小组第三十次会议时强调,总结谋划好改革工作,对做好明年和今后改革工作具有重要意义。2016年,广西各项财政社保改
<正>云南师范大学具有悠久历史和光荣革命传统。迁至呈贡新校区后,学校更加注重历史文化传承,积极挖掘并充分发挥历史文化和革命传统的优势,联系国情、省情、校情、学情之实
抗战时期成立的临时参议会对于认识近代中国政制建设具有重要意义。参议会是咨议机关,今人常将"参政"与"议政"混为一谈,其实"咨议"乃咨询、议论,与直接参政有别。从隶属关系
以品牌连锁零售加盟店作为新零售主要切入点,围绕用户为用户提供即购即得,即买即取,结合大数据分析与人工智能技术,为加盟店提供新零售模式解决方案和服务,同时支持消费者线