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本发明涉及一种钼片加工方法，尤其是关于超薄如厚度小于0．3mm、高平整度钼片加工方法，其特征是钼板经多次热轧减薄，多次温轧减薄，退火，多次冷轧、退火至所需厚度，冲制成型，叠片压紧退火。本发明方法为工业化批量生产超薄高平整度钼片提供了一条简单有效，生产效率高的全新加工工艺方法。生产的30×60×0．24mm超薄钼片，厚度误差小于0．01mm，平面9个点不平整误差小于10μm；而且成品率较高，成品率达70％～80％左右，材料消耗少，大大降低了超薄高平整度钼片的生产成本。