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针对平板类微小零件装配特点，设计了一套基于真空吸附的微装配系统平台。采用真空吸附式微夹持器实现零件的夹持、释放，采用双CCD摄像头实现对零件的位姿识别，采用定位精度在（4～6）bm的位移台实现零件的定位。分析了位移台误差的来源，重点计算了位移台中步进电机和丝杠的累积误差，计算结果为（±1．405）μm，可以达到位移台的精度要求。重复定位精度对位移台精度起着重要的作用，以位移台中光栅尺为基准进行闲环控制，通过大量实验验证位移台的重复定位精度小于3μm。