位移台相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

位移台相关论文

高精度像差检测运动控制及图像采集系统设计

投影物镜是光刻机的重要组成部分,直接影响光刻技术指标,因此投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一。横向剪切干涉是重要的......

期刊

横向剪切干涉波像差 CMOS图像探测器位移台

微装配系统结构设计及位移台误差分析

针对平板类微小零件装配特点，设计了一套基于真空吸附的微装配系统平台。采用真空吸附式微夹持器实现零件的夹持、释放，采用双CCD摄......

期刊

微装配真空吸附位移台累积误差重复定位精度

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