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在石英晶体谐振器的生产制造过程当中,晶片腐蚀是其中非常重要的一道工序.如果腐蚀处理所使用的工艺参数不同,会对晶体谐振器相关的性能和参数形成不同程度的影响,主要包括腐蚀量、腐蚀液体温度、腐蚀方法等.本文首先分析了石英晶体谐振器生产过程当中的腐蚀方法及其原理,然后探讨了对腐蚀形成影响的主要因素,继而讨论了在腐蚀过程当中需要注意的事项,最后总结了腐蚀处理给晶体参数形成的影响.