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提出了一种基于显微图像拼接技术的视觉坐标测量方法,也就是利用图像自身的空间坐标信息实现坐标测量的方法。针对测量显微镜获取微小零件图像所具有较精细的纹理特征,提出了一种基于点映射互相关配准算法,对局部重叠的序列图像进行拼接。借助于玻璃标准尺对系统进行了严格的标定,重点对不同放大倍数下的拼接误差进行了计算与分析。并通过微小零件尺寸测量的实例说明了该算法的有效性。多种实验研究表明,该测量方法的相对误差可优于1%,分辨力可小于1μm。