论文部分内容阅读
设计了一种可用于X频段的射频微机电系统（RF-MEMS）的开关。它通过上电极中心以及两端的螺旋结构提高了等效电感值，减小了谐振频率，从而在较低的频段下实现了较好的隔离度。采用阻抗匹配改善开关结构的射频性能。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响，包括绝缘介质层厚度k，上电极与下电极之间空气层厚度o、上电极宽度w和上电极间距m，总结了各参数对电磁性能的影响趋势，确定了各参数的最优取值。在整个X频段，开关开态时的插入损耗小于0.83 dB（绝对值，下同）；关态时的隔离度大于1