Cd气氛退火对CdZnTe晶片质量影响

来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：XULIANSHUAI

【摘要】

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在CdZnTe晶体生长时,有时会产生大颗粒的沉积相,严重的影响了CdZnTe晶片的质量,通过电子探针测试证明其为Cd沉积相.采用Cd气氛退火来消除Cd沉积相,可以改善CdZnTe晶片的质量.

【作者】

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张鹏举赵增林胡赞东万锐敏岳全龄王晓薇姬荣斌

【机构】

：

昆明物理研究所

【出处】

：

红外技术

【发表日期】

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2005年5期

【关键词】

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CDZNTE 退火 Cd沉积相红外透过率 CdZnTe annealing Cdprecipitates transmittance

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在CdZnTe晶体生长时,有时会产生大颗粒的沉积相,严重的影响了CdZnTe晶片的质量,通过电子探针测试证明其为Cd沉积相.采用Cd气氛退火来消除Cd沉积相,可以改善CdZnTe晶片的质量.实验发现:在较高的温度(600℃)条件下,退火可以有效的消除大颗粒(＞5 (m)的Cd沉积相,改善CdZnTe晶片红外透过率、X射线双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)和腐蚀坑密度(EPD).在此条件下对CdZnTe晶片进行退火,有助于提高CdZnTe晶片的性能.

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