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永磁同步直线电机（PMLSM）直接驱动XY平台数控系统在加工零件时负载扰动以及系统参数的变化会使其产生轮廓误差，而且任意轨迹轮廓误差为非线性函数不易进行建模。论文采用适用于任意轨迹建模的等效误差法建立XY平台非线性误差模型并采用模糊RBF神经网络控制设计轮廓控制器，通过其局部逼近能力使误差量在有限时间内趋近于零，以满足XY平台数控系统的高精度加工要求。仿真结果表明，所设计控制系统能有效提高XY平台的轮廓加工精度。