TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究

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【摘要】

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采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn^2＋掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn^2＋掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能

【作者】

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韩志萍闫龙王玉飞史志铭

【机构】

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榆林学院化学与化学工程学院,内蒙古工业大学材料科学与工程学院

【出处】

：

硅酸盐通报

【发表日期】

：

2010年4期

【关键词】

：

氧化钛薄膜湿度敏感离子掺杂 TiO2-SnO2 thin film humidity sensitivity ion doping

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采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn^2＋掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn^2＋掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究表明,较低的工作频率下元件的湿敏性能较好;Sn^2＋的加入不同程度地降低了TiO2基薄膜的阻抗值,其中TiO2-15wt%SnO2薄膜表现出最高的灵敏度;薄膜高的湿敏性能与Sn2＋掺杂引起的晶粒度变化以及热处理过程中的晶型转变有关.

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