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采用射频磁控溅射法在室温柔性衬底PET上制备了掺锆氧化锌（ZZO）透明导电薄膜。利用不同方法提高了ZZO薄膜的电阻率而未使其可见光透过率降低。X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）表明，ZZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。在有机衬底和玻璃衬底上制备ZZO薄膜的择优取向不同，前者为（100）晶面，而后者为（002）晶面。在有ZnO缓冲层的PET衬底上制备的ZZO薄膜电阻率比直接生长在玻璃衬底样品上的小。通过优化参数，在PET衬底上制备出了最小电阻率为1.7×10^-3Ω·cm、