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采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜。利用XRD、Ralnan和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌。结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜。随着离子轰击能量的增大，碳膜的厚度随之减小，纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大，碳膜表面粗糙度增大，并找到了最佳的离子轰击能量。通过对Raman光谱分析发现，在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2nm。