【摘 要】
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通过Ag掺杂和磁控溅射方法生长ZnO:Ag薄膜,分析了氧气氛退火温度后薄膜的微结构和电阻率等电学性能。退火前薄膜的晶粒大小为15nm,经过600℃氧气氛热处理后,晶粒增大到35nm左
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通过Ag掺杂和磁控溅射方法生长ZnO:Ag薄膜,分析了氧气氛退火温度后薄膜的微结构和电阻率等电学性能。退火前薄膜的晶粒大小为15nm,经过600℃氧气氛热处理后,晶粒增大到35nm左右;霍耳测试结果表明,氧气氛后ZnO:Ag薄膜转变为p型电导。薄膜对可见光的透过率大于83%,有陡峭的截止吸收限,对小于378nm的紫外光有强烈的吸收。
The ZnO: Ag films were grown by Ag doping and magnetron sputtering. The microstructure and electrical resistivity of the films were analyzed after oxygen annealing. The grain size of the film before annealing is 15nm, and after 600 ℃ oxygen atmosphere heat treatment, the grain size increases to about 35nm. The Hall test results show that the ZnO: Ag film changes to p-type conductivity after oxygen atmosphere. Film transmittance of visible light greater than 83%, with a sharp cut-off absorption of less than 378nm UV light has a strong absorption.
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