【摘 要】
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本文从溅射镀膜与蒸发镀膜的物理过程的比较分析、包括:1.沉积粒子的产生过程;2.迁移过程;3.成膜过程,说明溅射镀膜的特点及导致溅射镀膜工艺近年来迅速发展的原因。
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本文从溅射镀膜与蒸发镀膜的物理过程的比较分析、包括:1.沉积粒子的产生过程;2.迁移过程;3.成膜过程,说明溅射镀膜的特点及导致溅射镀膜工艺近年来迅速发展的原因。
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