【摘 要】
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研究了用Mn--Co--Ni--O薄膜材料制备的热敏红外探测器件，并主要通过调控衬底热导改进了器件性能。对于较薄的探测元，研究了具有微桥结构的红外器件。结果表明，该器件的响应率比非微桥器件高80%左右，探测率高44%左右。这主要是因为其独特的结构形式降低了器件热导，且对光的全反射效应提高了探测元对光的吸收率。对于较厚的探测元，在衬底上增加了抛光的散热铜片，使器件衬底的导热系数提高了47%左右，但响应电压降低了50%左右。因此需要合理选择散热铜片，以获得合适的时间常数和响应率。
【机 构】
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上海海事大学海洋科学与工程学院，上海201306上海海事大学上海深远海洋装备材料工程技术研究中心，上海201306
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研究了用Mn--Co--Ni--O薄膜材料制备的热敏红外探测器件，并主要通过调控衬底热导改进了器件性能。对于较薄的探测元，研究了具有微桥结构的红外器件。结果表明，该器件的响应率比非微桥器件高80%左右，探测率高44%左右。这主要是因为其独特的结构形式降低了器件热导，且对光的全反射效应提高了探测元对光的吸收率。对于较厚的探测元，在衬底上增加了抛光的散热铜片，使器件衬底的导热系数提高了47%左右，但响应电压降低了50%左右。因此需要合理选择散热铜片，以获得合适的时间常数和响应率。
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