【摘 要】
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纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景.纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备.其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳
【基金项目】
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Ultra-Precision Machining Key Laboratories Foundation of CAEP
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纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景.纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备.其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化.实验通过不同压力下制备金刚石膜,采用扫描电镜进行形貌观察,并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构.实验表明,金刚石膜形态随压力变化而改变,一定压力下生长出纳米金刚石膜,降低压力则晶体颗粒变粗.分析其原因是与氢原子的运动密切相关.
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